TY  - RPRT
TI  - STEM analysis of deformation and B distribution in nanosecond laser ultra-doped Si$_{1-x}$ B$_x$
AU  - G. Hallais
AU  - G. Patriarche
AU  - L. Desvignes
AU  - D. Débarre
AU  - F. Chiodi
PY  - 2022
DO  - 10.1088/1361-6641/acb0f0
UR  - https://arxiv.org/abs/2208.05053
ID  - 2208.05053
ER  -