TY  - RPRT
TI  - Non-destructive X-ray imaging of patterned delta-layer devices in silicon
AU  - Nicolò D'Anna
AU  - Dario Ferreira Sanchez
AU  - Guy Matmon
AU  - Jamie Bragg
AU  - Procopios C. Constantinou
AU  - Taylor J. Z. Stock
AU  - Sarah Fearn
AU  - Steven R. Schofield
AU  - Neil J. Curson
AU  - Marek Bartkowiak
AU  - Y. Soh
AU  - Daniel Grolimund
AU  - Simon Gerber
AU  - Gabriel Aeppli
PY  - 2023
DO  - 10.1002/aelm.202201212
UR  - https://arxiv.org/abs/2208.09379
ID  - 2208.09379
ER  -