TY  - RPRT
TI  - Plasma-enhanced atomic layer deposition of Al$_2$O$_3$ on graphene using monolayer hBN as interfacial layer
AU  - Barbara Canto
AU  - Martin Otto
AU  - Michael J. Powell
AU  - Vitaliy Babenko
AU  - Aileen O Mahony
AU  - Harm Knoops
AU  - Ravi S. Sundaram
AU  - Stephan Hofmann
AU  - Max C. Lemme
AU  - Daniel Neumaier
PY  - 2022
DO  - 10.1002/admt.202100489
UR  - https://arxiv.org/abs/2208.11601
ID  - 2208.11601
ER  -