TY  - RPRT
TI  - Optimizing nucleation layers for the integration of ferroelectric HZO on CVD-grown graphene
AU  - Suzanne Lancaster
AU  - Iciar Arnay
AU  - Ruben Guerrero
AU  - Adrían Gudín
AU  - Thomas Mikolajick
AU  - Paolo Perna
AU  - Stefan Slesazeck
PY  - 2022
DO  - 10.1109/isaf51494.2022.9870121
UR  - https://arxiv.org/abs/2208.14061
ID  - 2208.14061
ER  -