TY  - RPRT
TI  - Recent Progresses and Perspectives of UV Laser Annealing Technologies for Advanced CMOS Devices
AU  - Toshiyuki Tabata
AU  - Fabien Rozé
AU  - Louis Thuries
AU  - Sébastien Halty
AU  - Pierre-Edouard Raynal
AU  - Imen Karmous
AU  - Karim Huet
PY  - 2022
DO  - 10.3390/electronics11172636
UR  - https://arxiv.org/abs/2209.05337
ID  - 2209.05337
ER  -