TY  - RPRT
TI  - Selective Direct Bonding of High Thermal Conductivity 3C-SiC Film to \b{eta}-Ga2O3 for Top-Side Heat Extraction
AU  - Jianbo Liang
AU  - Hiromu Nagai
AU  - Zhe Cheng
AU  - Keisuke Kawamura
AU  - Yasuo Shimizu
AU  - Yutaka Ohno
AU  - Yoshiki Sakaida
AU  - Hiroki Uratani
AU  - Hideto Yoshida
AU  - Yasuyoshi Nagai
AU  - Naoteru Shigekawa
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2209.05669
ID  - 2209.05669
ER  -