TY  - RPRT
TI  - Ion-beam Assisted Sputtering of Titanium Nitride Thin Films
AU  - Timothy Draher
AU  - Tomas Polakovic
AU  - Juliang Li
AU  - Yi Li
AU  - Ulrich Welp
AU  - Jidong Samuel Jiang
AU  - John Pearson
AU  - Whitney Armstrong
AU  - Zein-Eddine Meziani
AU  - Clarence Chang
AU  - Wai-Kwong Kwok
AU  - Zhili Xiao
AU  - Valentine Novosad
PY  - 2023
DO  - 10.1038/s41598-023-31549-0
UR  - https://arxiv.org/abs/2210.15065
ID  - 2210.15065
ER  -