TY  - RPRT
TI  - Wafer-Scale Growth of Sb2Te3 Films via Low-Temperature ALD for Self-Powered Photodetector
AU  - Jun Yang
AU  - Jianzhu Li
AU  - Amin Bahrami
AU  - Noushin Nasiri
AU  - Sebastian Lehmann
AU  - Magdalena Ola Cichocka
AU  - Samik Mukherjee
AU  - Kornelius Nielsch
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2210.17144
ID  - 2210.17144
ER  -