TY  - RPRT
TI  - Electron dynamics in planar radio frequency magnetron plasmas: II. Heating and energization mechanisms studied via a 2d3v particle-in-cell/Monte Carlo code
AU  - D. Eremin
AU  - B. Berger
AU  - D. Engel
AU  - J. Kallähn
AU  - K. Köhn
AU  - D. Krüger
AU  - L. Xu
AU  - M. Oberberg
AU  - C. Wölfel
AU  - J. Lunze
AU  - P. Awakowicz
AU  - J. Schulze
AU  - R. P. Brinkmann
PY  - 2022
DO  - 10.1088/1361-6595/acc47f
UR  - https://arxiv.org/abs/2211.03459
ID  - 2211.03459
ER  -