TY - RPRT TI - Ultrafast laser welding of silicon AU - Maxime Chambonneau AU - Qingfeng Li AU - Markus Blothe AU - Stefan Nolte PY - 2022 DO - 10.1002/adpr.202200300 UR - https://arxiv.org/abs/2211.03518 ID - 2211.03518 ER -