TY  - RPRT
TI  - Probing the Atomic Arrangement of Sub-Surface Dopants in a Silicon Quantum Device Platform
AU  - Håkon I. Røst
AU  - Ezequiel Tosi
AU  - Frode S. Strand
AU  - Anna Cecilie Åsland
AU  - Paolo Lacovig
AU  - Silvano Lizzit
AU  - Justin W. Wells
PY  - 2022
DO  - 10.1021/acsami.2c23011
UR  - https://arxiv.org/abs/2211.10096
ID  - 2211.10096
ER  -