TY  - RPRT
TI  - Manufacturing high-Q superconducting α-tantalum resonators on silicon wafers
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AU  - K. De Greve
PY  - 2022
DO  - 10.1088/2633-4356/ad4b8c
UR  - https://arxiv.org/abs/2211.16437
ID  - 2211.16437
ER  -