TY  - RPRT
TI  - Vibration suppression of a state-of-the-art wafer gripper
AU  - M. El Ajjaj
AU  - M. B. Kaczmarek
AU  - M. A. C. C. van den Hurk
AU  - S. H. HosseinNia
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2212.01854
ID  - 2212.01854
ER  -