TY  - RPRT
TI  - Improving Josephson junction reproducibility for superconducting quantum circuits: shadow evaporation and oxidation
AU  - D. O. Moskalev
AU  - E. V. Zikiy
AU  - A. A. Pishchimova
AU  - D. A. Ezenkova
AU  - N. S. Smirnov
AU  - A. I. Ivanov
AU  - N. D. Korshakov
AU  - I. A. Rodionov
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2212.06692
ID  - 2212.06692
ER  -