TY  - RPRT
TI  - Deep multilevel wet etching of fused silica glass microstructures in BOE solution
AU  - T. G. Konstantinova
AU  - M. M. Andronic
AU  - D. A. Baklykov
AU  - V. E. Stukalova
AU  - D. A. Ezenkova
AU  - E. V. Zikiy
AU  - M. V. Bashinova
AU  - A. A. Solovev
AU  - E. S. Lotkov
AU  - I. A. Ryzhikov
AU  - I. A. Rodionov
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2212.06699
ID  - 2212.06699
ER  -