TY - RPRT TI - Design of a 3000-pixel transition-edge sensor x-ray spectrometer for microcircuit tomography AU - Paul Szypryt AU - Douglas A. Bennett AU - William J. Boone AU - Amber L. Dagel AU - Gabriella Dalton AU - W. Bertrand Doriese AU - Joseph W. Fowler AU - Edward J. Garboczi AU - Johnathon D. Gard AU - Gene C. Hilton AU - Jozsef Imrek AU - Edward S. Jimenez AU - Vincent Y. Kotsubo AU - Kurt Larson AU - Zachary H. Levine AU - John A. B. Mates AU - Daniel McArthur AU - Kelsey M. Morgan AU - Nathan Nakamura AU - Galen C. O'Neil AU - Nathan J. Ortiz AU - Christine G. Pappas AU - Carl D. Reintsema AU - Daniel R. Schmidt AU - Daniel S. Swetz AU - Kyle R. Thompson AU - Joel N. Ullom AU - Christopher Walker AU - Joel C. Weber AU - Abigail L. Wessels AU - Jason W. Wheeler PY - 2022 DO - 10.1109/tasc.2021.3052723 UR - https://arxiv.org/abs/2212.07460 ID - 2212.07460 ER -