TY  - RPRT
TI  - Heterostructure films of SiO$_2$ and HfO$_2$ for high power laser optics prepared by plasma-enhanced atomic layer deposition
AU  - Shawon Alam
AU  - Pallabi Paul
AU  - Vivek Beladiya
AU  - Olaf Stenzel
AU  - Marcus Trost
AU  - Steffen Wilbrandt
AU  - Sven Schroeder
AU  - Gabor Matthaeus
AU  - Stefan Nolte
AU  - Sebastian Riese
AU  - Felix Otto
AU  - Torsten Fritz
AU  - Alexander Gottwald
AU  - Adriana Szeghalmi
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2212.08430
ID  - 2212.08430
ER  -