TY  - RPRT
TI  - Nanoscale Three-Dimensional Imaging of Integrated Circuits using a Scanning Electron Microscope and Transition-Edge Sensor Spectrometer
AU  - Nathan Nakamura
AU  - Paul Szypryt
AU  - Amber L. Dagel
AU  - Bradley K. Alpert
AU  - Douglas A. Bennett
AU  - W. Bertrand Doriese
AU  - Malcolm Durkin
AU  - Joseph W. Fowler
AU  - Dylan T. Fox
AU  - Johnathon D. Gard
AU  - Ryan N. Goodner
AU  - J. Zachariah Harris
AU  - Gene C. Hilton
AU  - Edward S. Jimenez
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AU  - Kurt W. Larson
AU  - Zachary H. Levine
AU  - Daniel McArthur
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AU  - Galen C. O'Neil
AU  - Nathan J. Ortiz
AU  - Christine G. Pappas
AU  - Carl D. Reintsema
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AU  - Peter A. Schultz
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AU  - Joel N. Ullom
AU  - Leila Vale
AU  - Courtenay T. Vaughan
AU  - Christopher Walker
AU  - Joel C. Weber
AU  - Jason W. Wheeler
AU  - Daniel S. Swetz
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2212.10591
ID  - 2212.10591
ER  -