TY - RPRT TI - Integrated membrane-free thermal flow sensor for silicon-on-glass microfluidics AU - Vitaly V. Ryzhkov AU - Vladimir V. Echeistov AU - Aleksandr V. Zverev AU - Dmitry A. Baklykov AU - Tatyana Konstantinova AU - Evgeny S. Lotkov AU - Pavel G. Ryazantcev AU - Ruslan Sh. Alibekov AU - Aleksey K. Kuguk AU - Andrey R. Aleksandrov AU - Elisey S. Krasko AU - Anastasiya A. Barbasheva AU - Ilya A. Ryzhikov AU - Ilya A. Rodionov PY - 2022 UR - https://arxiv.org/abs/2212.10916 ID - 2212.10916 ER -