TY - RPRT TI - Silicon-doped $β$-Ga$_2$O$_3$ films grown at 1 $μ$m/h by suboxide molecular-beam epitaxy AU - Kathy Azizie AU - Felix V. E. Hensling AU - Cameron A. Gorsak AU - Yunjo Kim AU - Daniel M. Dryden AU - M. K. Indika Senevirathna AU - Selena Coye AU - Shun-Li Shang AU - Jacob Steele AU - Patrick Vogt AU - Nicholas A. Parker AU - Yorick A. Birkhölzer AU - Jonathan P. McCandless AU - Debdeep Jena AU - Huili G. Xing AU - Zi-Kui Liu AU - Michael D. Williams AU - Andrew J. Green AU - Kelson Chabak AU - Adam T. Neal AU - Shin Mou AU - Michael O. Thompson AU - Hari P. Nair AU - Darrell G. Schlom PY - 2022 UR - https://arxiv.org/abs/2212.12096 ID - 2212.12096 ER -