TY  - RPRT
TI  - Electrochemical Polishing of Chemical Vapor Deposited Niobium Thin Films
AU  - Zeming Sun
AU  - Mingqi Ge
AU  - James T. Maniscalco
AU  - Victor Arrieta
AU  - Shawn R. McNeal
AU  - Matthias U. Liepe
PY  - 2023
DO  - 10.1016/j.tsf.2023.139948
UR  - https://arxiv.org/abs/2301.00788
ID  - 2301.00788
ER  -