TY  - RPRT
TI  - Mechanical scanning probe lithography of perovskites for fabrication of high-Q planar polaritonic cavities
AU  - N. Glebov
AU  - M. Masharin
AU  - B. Borodin
AU  - P. Alekseev
AU  - F. Benimetskiy
AU  - S. Makarov
AU  - A. Samusev
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0142570
UR  - https://arxiv.org/abs/2301.01016
ID  - 2301.01016
ER  -