TY  - RPRT
TI  - Deposition of Ga2O3 thin films by liquid metal target sputtering
AU  - Martins Zubkins
AU  - Viktors Vibornijs
AU  - Edvards Strods
AU  - Edgars Butanovs
AU  - Liga Bikse
AU  - Mikael Ottosson
AU  - Anders Hallén
AU  - Jevgenijs Gabrusenoks
AU  - Juris Purans
AU  - Andris Azens
PY  - 2023
DO  - 10.1016/j.vacuum.2022.111789
UR  - https://arxiv.org/abs/2301.03845
ID  - 2301.03845
ER  -