TY  - RPRT
TI  - Scalable fabrication of hemispherical solid immersion lenses in silicon carbide through grayscale hard-mask lithography
AU  - Christiaan Bekker
AU  - Muhammad Junaid Arshad
AU  - Pasquale Cilibrizzi
AU  - Charalampos Nikolatos
AU  - Peter Lomax
AU  - Graham S. Wood
AU  - Rebecca Cheung
AU  - Wolfgang Knolle
AU  - Neil Ross
AU  - Brian Gerardot
AU  - Cristian Bonato
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0144684
UR  - https://arxiv.org/abs/2301.07705
ID  - 2301.07705
ER  -