TY  - RPRT
TI  - Room-Temperature Sputtered Ultralow-loss Silicon Nitride for Hybrid Photonic Integration
AU  - Shuangyou Zhang
AU  - Toby Bi
AU  - Irina Harder
AU  - Olga Lohse
AU  - Florentina Gannott
AU  - Alexander Gumann
AU  - Yaojing Zhang
AU  - Pascal Del'Haye
PY  - 2023
DO  - 10.1002/lpor.202300642
UR  - https://arxiv.org/abs/2301.10758
ID  - 2301.10758
ER  -