TY  - RPRT
TI  - Improving the crystallinity and texture of oblique-angle-deposited AlN thin films using reactive synchronized HiPIMS
AU  - Jyotish Patidar
AU  - Amit Sharma
AU  - Siarhei Zhuk
AU  - Giacomo Lorenzin
AU  - Claudia Cancellieri
AU  - Martin F. Sarott
AU  - Morgan Trassin
AU  - Kerstin Thorwarth
AU  - Johann Michler
AU  - Sebastian Siol
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2301.11183
ID  - 2301.11183
ER  -