TY  - RPRT
TI  - Low-damage electron beam lithography for nanostructures on Bi$_2$Te$_3$-class topological insulator thin films
AU  - Molly P. Andersen
AU  - Linsey K. Rodenbach
AU  - Ilan T. Rosen
AU  - Stanley C. Lin
AU  - Lei Pan
AU  - Peng Zhang
AU  - Lixuan Tai
AU  - Kang L. Wang
AU  - Marc A. Kastner
AU  - David Goldhaber-Gordon
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0144726
UR  - https://arxiv.org/abs/2301.11900
ID  - 2301.11900
ER  -