TY  - RPRT
TI  - Tuning the Interlayer Microstructure and Residual Stress of Buffer-Free Direct Bonding GaN/Si Heterostructures
AU  - Yan Zhou
AU  - Shi Zhou
AU  - Shun Wan
AU  - Bo Zou
AU  - Yuxia Feng
AU  - Rui Mei
AU  - Heng Wu
AU  - Pingheng Tan
AU  - Naoteru Shigekawa
AU  - Jianbo Liang
AU  - Martin Kuball
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0135138
UR  - https://arxiv.org/abs/2302.01525
ID  - 2302.01525
ER  -