TY - RPRT TI - Argon milling induced decoherence mechanisms in superconducting quantum circuits AU - J. Van Damme AU - Ts. Ivanov AU - P. Favia AU - T. Conard AU - J. Verjauw AU - R. Acharya AU - D. Perez Lozano AU - B. Raes AU - J. Van de Vondel AU - A. M. Vadiraj AU - M. Mongillo AU - D. Wan AU - J. De Boeck AU - A. Potočnik AU - K. De Greve PY - 2023 DO - 10.1103/physrevapplied.20.014034 UR - https://arxiv.org/abs/2302.03518 ID - 2302.03518 ER -