TY  - RPRT
TI  - Chemical Mechanical Planarization for Ta-based Superconducting Quantum Devices
AU  - Ekta Bhatia
AU  - Soumen Kar
AU  - Jakub Nalaskowski
AU  - Tuan Vo
AU  - Stephen Olson
AU  - Hunter Frost
AU  - John Mucci
AU  - Brian Martinick
AU  - Pui Yee Hung
AU  - Ilyssa Wells
AU  - Sandra Schujman
AU  - Satyavolu S. Papa Rao
PY  - 2023
DO  - 10.1116/6.0002586
UR  - https://arxiv.org/abs/2302.07732
ID  - 2302.07732
ER  -