TY  - RPRT
TI  - Generation of energetic electrons by surface waves in VHF CCPs
AU  - D. Eremin
AU  - E. Kemaneci
AU  - M. Matsukuma
AU  - I. Kaganovich
AU  - T. Mussenbrock
AU  - R. P. Brinkmann
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2302.12499
ID  - 2302.12499
ER  -