TY  - RPRT
TI  - Foundry manufacturing of tight-confinement, dispersion-engineered, ultralow-loss silicon nitride photonic integrated circuit
AU  - Zhichao Ye
AU  - Haiyan Jia
AU  - Zhangjun Huang
AU  - Chen Shen
AU  - Jinbao Long
AU  - Baoqi Shi
AU  - Yi-Han Luo
AU  - Lan Gao
AU  - Wei Sun
AU  - Hairun Guo
AU  - Jijun He
AU  - Junqiu Liu
PY  - 2023
DO  - 10.1364/prj.486379
UR  - https://arxiv.org/abs/2303.05004
ID  - 2303.05004
ER  -