TY  - RPRT
TI  - Study of Surface Damage in Silicon by Irradiation with Focused Rubidium Ions
AU  - S. Xu
AU  - Y. Li
AU  - M. A. Verheijen
AU  - E. R. Kieft
AU  - E. J. D. Vredenbregt
PY  - 2023
DO  - 10.1116/6.0002643
UR  - https://arxiv.org/abs/2303.09315
ID  - 2303.09315
ER  -