TY  - RPRT
TI  - AdaOPC: A Self-Adaptive Mask Optimization Framework For Real Design Patterns
AU  - Wenqian Zhao
AU  - Xufeng Yao
AU  - Ziyang Yu
AU  - Guojin Chen
AU  - Yuzhe Ma
AU  - Bei Yu
AU  - Martin D. F. Wong
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2303.12723
ID  - 2303.12723
ER  -