TY  - RPRT
TI  - Reduction of helium permeation in microfabricated cells using aluminosilicate glass substrates and Al$_2$O$_3$ coatings
AU  - C. Carlé
AU  - S. Keshavarzi
AU  - A. Mursa
AU  - P. Karvinen
AU  - R. Chutani
AU  - S. Bargiel
AU  - S. Queste
AU  - R. Vicarini
AU  - P. Abbé
AU  - M. Abdel Hafiz
AU  - V. Maurice
AU  - R. Boudot
AU  - N. Passilly
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0151899
UR  - https://arxiv.org/abs/2303.13927
ID  - 2303.13927
ER  -