TY  - RPRT
TI  - Particle charging during pulsed EUV exposures with afterglow effect
AU  - M. Chaudhuri
AU  - L. C. J. Heijmans
AU  - M. van de Kerkhof
AU  - P. Krainov
AU  - D. Astakhov
AU  - A. M. Yakunin
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2303.14684
ID  - 2303.14684
ER  -