TY  - RPRT
TI  - Nonlocal dynamics of secondary electrons in capacitively coupled radio frequency discharges
AU  - Katharina Noesges
AU  - Maximilian Klich
AU  - Aranka Derzsi
AU  - Benedek Horváth
AU  - Julian Schulze
AU  - Ralf Peter Brinkmann
AU  - Thomas Mussenbrock
AU  - Sebastian Wilczek
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2303.15063
ID  - 2303.15063
ER  -