TY  - RPRT
TI  - Thin film aluminum nitride surface acoustic wave resonators for quantum acoustodynamics
AU  - Wenbing Jiang
AU  - Junfeng Chen
AU  - Xiaoyu Liu
AU  - Zhengqi Niu
AU  - Kuang Liu
AU  - Wei Peng
AU  - Zhen Wang
AU  - Zhi-Rong Lin
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0158083
UR  - https://arxiv.org/abs/2304.00511
ID  - 2304.00511
ER  -