TY  - RPRT
TI  - Measurement of Dielectric Loss in Silicon Nitride at Centimeter and Millimeter Wavelengths
AU  - Z. Pan
AU  - P. S. Barry
AU  - T. Cecil
AU  - C. Albert
AU  - A. N. Bender
AU  - C. L. Chang
AU  - R. Gualtieri
AU  - J. Hood
AU  - J. Li
AU  - J. Zhang
AU  - M. Lisovenko
AU  - V. Novosad
AU  - G. Wang
AU  - V. Yefremenko
PY  - 2023
DO  - 10.1109/tasc.2023.3264953
UR  - https://arxiv.org/abs/2304.01103
ID  - 2304.01103
ER  -