TY  - RPRT
TI  - Low-loss Si-based Dielectrics for High Frequency Components of Superconducting Detectors
AU  - M. Lisovenko
AU  - Z. Pan
AU  - P. S. Barry
AU  - T. Cecil
AU  - C. L. Chang
AU  - R. Gualtieri
AU  - J. Li
AU  - V. Novosad
AU  - G. Wang
AU  - V. Yefremenko
PY  - 2023
DO  - 10.1109/tasc.2023.3264174
UR  - https://arxiv.org/abs/2304.01362
ID  - 2304.01362
ER  -