TY  - RPRT
TI  - Development of 15kA/cm$^2$ Fabrication Process for Superconducting Integrated Digital Circuits
AU  - Liliang Ying
AU  - Xue Zhang
AU  - Guixiang He
AU  - Weifeng Shi
AU  - Hui Xie
AU  - Linxian Ma
AU  - Hui Zhang
AU  - Jie Ren
AU  - Wei Peng
AU  - Zhen Wang
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2304.01588
ID  - 2304.01588
ER  -