TY  - RPRT
TI  - Stepwise fabrication and optimization of coplanar waveguide resonator hybrid devices
AU  - N. Kellner
AU  - N. Hüttner
AU  - M. Will
AU  - P. Hakonen
AU  - A. K. Hüttel
PY  - 2023
DO  - 10.1002/pssb.202300187
UR  - https://arxiv.org/abs/2304.08997
ID  - 2304.08997
ER  -