TY  - RPRT
TI  - High Density Fabrication Process for Single Flux Quantum Circuits
AU  - D. Yohannes
AU  - M. Renzullo
AU  - J. Vivalda
AU  - A. C. Jacobs
AU  - M. Yu
AU  - J. Walter
AU  - A. F. Kirichenko
AU  - I. V. Vernik
AU  - O. A. Mukhanov
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0152552
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.07607
ID  - 2305.07607
ER  -