TY  - RPRT
TI  - Disorder and cavity evolution in single-crystalline Ge during implantation of Sb ions monitored in-situ by spectroscopic ellipsometry
AU  - Tivadar Lohner
AU  - Attila Nemeth
AU  - Zsolt Zolnai
AU  - Benjamin Kalas
AU  - Alekszej Romanenko
AU  - Nguyen Quoc Khanh
AU  - Edit Szilagyi
AU  - Endre Kotai
AU  - Emil Agocs
AU  - Zsolt Toth
AU  - Judit Budai
AU  - Peter Petrik
AU  - Miklos Fried
AU  - Istvan Barsony
AU  - Jozsef Gyulai
PY  - 2023
DO  - 10.1016/j.mssp.2022.107062
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.07635
ID  - 2305.07635
ER  -