TY  - RPRT
TI  - Direct atomic layer deposition of ultra-thin $Al_{2}O_{3}$ and $HfO_{2}$ films on gold-supported monolayer $MoS_{2}$
AU  - E. Schilirò
AU  - S. E. Panasci
AU  - A. M. Mio
AU  - G. Nicotra
AU  - S. Agnello
AU  - B. Pecz
AU  - G. Z. Radnoczi
AU  - I. Deretzis
AU  - A. La Magna
AU  - F. Roccaforte
AU  - R. Lo Nigro
AU  - F. Giannazzo
PY  - 2023
DO  - 10.1016/j.apsusc.2023.157476
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.07933
ID  - 2305.07933
ER  -