TY  - RPRT
TI  - Ultrashort Pulse Laser Annealing of Amorphous Atomic Layer Deposited MoS$_2$ Films
AU  - Malte J. M. J. Becher
AU  - Julia Jagosz
AU  - Rahel-Manuela Neubieser
AU  - Jan-Lucas Wree
AU  - Anjana Devi
AU  - Marvin Michel
AU  - Claudia Bock
AU  - Evgeny L. Gurevich
AU  - Andreas Ostendorf
PY  - 2023
DO  - 10.1002/adem.202300677
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.11008
ID  - 2305.11008
ER  -