TY  - RPRT
TI  - Stable and low loss oxide layer on α-Ta (110) film for superconducting qubits
AU  - Zengqian Ding
AU  - Boyi zhou
AU  - Tao Wang
AU  - Lina Yang
AU  - Yanfu Wu
AU  - Xiao Cai
AU  - Kanglin Xiong
AU  - Jiagui Feng
PY  - 2024
DO  - 10.1116/6.0003368
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.11395
ID  - 2305.11395
ER  -