TY  - RPRT
TI  - Determination of compressive stress in thin films using micro-machined buckled membranes
AU  - C. Malhaire
AU  - M. Granata
AU  - D. Hofman
AU  - A. Amato
AU  - V. Martinez
AU  - G. Cagnoli
AU  - A. Lemaitre
AU  - N. Shcheblanov
PY  - 2023
DO  - 10.1116/6.0002590
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.15794
ID  - 2305.15794
ER  -