TY - RPRT TI - Silicon photonic MEMS switches based on split waveguide crossings AU - Yinpeng Hu AU - Yi Sun AU - Ye Lu AU - Huan Li AU - Liu Liu AU - Yaocheng Shi AU - Daoxin Dai PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2305.17366 ID - 2305.17366 ER -