TY  - RPRT
TI  - Fabrication of thin diamond membranes by Ne$^+$ implantation
AU  - Luca Basso
AU  - Michael Titze
AU  - Jacob Henshaw
AU  - Pauli Kehayias
AU  - Rong Cong
AU  - Maziar Saleh Ziabari
AU  - Tzu-Ming Lu
AU  - Michael P. Lilly
AU  - Andrew M. Mounce
PY  - 2023
UR  - https://arxiv.org/abs/2305.19133
ID  - 2305.19133
ER  -